Der Mann der ersten Stunde in der Vakuumtechnik war wahrscheinlich Leukipp, oder aber sein Schüler Demokrit. Dies kann heute nicht mehr genau bestimmt werden, aber es steht fest, dass diese Idee das Weltbild der epikureischen Philosophie sehr beeinflusste. Es wurde angenommen, dass im Vakuum nur unteilbare Teilchen vorhanden sind. Die Schlussfolgerung aus dieser These war dann, dass es nur dort die Möglichkeit der Bewegung der Teilchen besteht.
Aristoteles hatte eine andere Meinung über die Vakuumtechnik, denn er konnte sich nicht vorstellen, dass sich diese Teilchen frei im leeren Raum eine Bewegung haben. Er wehrte sich sehr gegen diese These und versuchte mit seiner eigenen Idee mehr über das Vakuum und deren Technik herauszufinden. Nach Aristoteles versuchte sich auch noch Giordano Bruno an der Vakuumtechnik und deren Entwicklung. Dennoch war es erst nach einer Demonstration möglich, dass sich die Idee vom Vakuum durchsetzte. Das erste Vakuum wurde dann erstmals von Evangelista Torricelli erzeugt. Viele Wissenschaftler versuchten sich daran, aber berühmt wurde das Vakuum erst durch Otto von Guericke, denn er erfand die Luftpumpe, dies war wieder ein Schritt näher zur heutigen Vakuumtechnik.
Auch andere Personen, wie Robert Williams Wood, Albert Abraham Michelson, Edward Williams Morley und auch Ernest Rutherford, versuchten sich mehr oder weniger erfolgreich daran. Seit dieser Zeit wird ständig an der Weiterentwicklung der Vakuumtechnik gearbeitet. Die Möglichkeiten der Forschung und Entwicklung steigen stetig. Das Vakuum ist inzwischen so gut erschlossen, dass auch die Geräte, bei denen man die Vakuumtechnik einsetzt, optimale Leistungen bringen. Natürlich werden sich auch in der Zukunft noch einige Möglichkeiten eröffnen, um die Vakuumtechnik weiter voran zu bringen.
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